解决方案

激光退火

高产能UV激光退火设备介绍

「SWA-20USH」 实现以扩大光束尺寸改善吞吐量

<设备规格比较>

<要点>

  • 在维持Top Hat形状的同时,光束尺寸扩大至φ130um,以实现1.5倍吞吐量
  • 采用SHI独自设计开发的特殊光学系

■新光学系(采用特殊光学系)

■光束形状

维持Top hat形状的同时,光束大小扩大至φ130um。

■SWA-20US的改造

可从现有机SWA-20US进行改造。

■DEMO评价

可提供实施DEMO照射。如有DEMO需求,请透过以下邮箱联络我们。
MAIL: shi.laser.sales@shi-g.com