Precision Positioning machine XY Stage 露光・高精度検査装置用XYステージ SA/SL Series ウエハの高速スキャン動作に最適 装置の振動を最小限に低減 Z機構、θ機構のオプション detailed information 検査・加工装置用XYステージ TL Series ウエハ・基板の高速位置決めを実現 装置の振動を最小限に低減 Z機構、θ機構のオプション detailed information XY stage for high precision laser process and inkjet system LA Series 基板と加工ヘッドの高精度位置決めを実現 複数の加工ヘッドを搭載可能 装置の分割化に対応 detailed information 真空エアサーボステージ ■ 高精度エアサーボ駆動 発熱フリー・非磁性・非接触駆動 真空チャンバ内直接駆動による高運動性能 ■ 差動排気付きエアベアリングによる案内機構 非接触による優れた案内精度と再現性 グリースフリーと低発塵 高真空度に対応 detailed information
