精密位置決め装置 XY ステージ

露光・高精度検査装置用XYステージ SA/SL Series

ウエハの高速スキャン動作に最適
装置の振動を最小限に低減
Z機構、θ機構のオプション


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検査・加工装置用XYステージ TL Series

ウエハ・基板の高速位置決めを実現
装置の振動を最小限に低減
Z機構、θ機構のオプション


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高精度レーザ加工・インクジェット用XYステージ LA Series

基板と加工ヘッドの高精度位置決めを実現
複数の加工ヘッドを搭載可能
装置の分割化に対応


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真空エアサーボステージ
■ 高精度エアサーボ駆動
  • 発熱フリー・非磁性・非接触駆動
  • 真空チャンバ内直接駆動による高運動性能

■ 差動排気付きエアベアリングによる案内機構
  • 非接触による優れた案内精度と再現性
  • グリースフリーと低発塵
  • 高真空度に対応

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