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EV普及に不可欠なSiCパワー半導体、レーザアニール装置で脱炭素化社会に貢献
世界に広がるサービス拠点
パワー半導体の製造工程に欠かせない技術となったSiC用レーザアニール装置の光源選定について
パワー半導体の製造工程におけるウェハ表面のリアルタイム加工監視と安定した品質管理の実現
レーザアニールの特徴とメリット、パワー半導体におけるレーザアニールプロセスを紹介
