Motion controller
- MC78
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MC78は、高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラです。
サーボドライバSDシリーズや位置計測信号処理ユニットPP78などと組み合わせることで、フルデジタルインターフェースによる多軸完全同期制御システムを実現します。
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- PP78
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PP78は、独自のハードウェア処理により、ステージ位置に同期した高精度なタイミングパルスを出力する位置計測信号処理ユニットです。 インターポレータ機能やピッチ誤差補正機能、アライメント誤差補正機能、環境補正機能(レーザ干渉計使用時)など、超精密スキャンに欠かせない機能を装備しています。
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