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EV普及に不可欠なSiCパワー半導体、レーザアニール装置で脱炭素化社会に貢献
世界に広がるサービス拠点
パワー半導体の製造工程に欠かせない技術となったSiC用レーザアニール装置の光源選定について
パワー半導体の製造工程におけるウェハ表面のリアルタイム加工監視と安定した品質管理の実現
電動モビリティの普及で需要が増すキャパシタ、アルミ電極のレーザ溶接による小型化・コストダウンの両立
シール部材の製造工程を革新するレーザ溶接、コストダウンと性能向上の両立
駆動制御システムとIoT機器の連携で情報を見える化し、生産効率アップに貢献
Roll-to-Roll 搬送による次世代製品の開発・生産課題を解決
オンリーワンのエアサーボ技術により半導体市場のナノレベルの高精細化に貢献
Roll-to-Roll 装置の張力制御システムを手軽に構築
顧客別ニーズに対応し、多軸のRoll-to-Roll 装置の高精度な搬送制御を実現
