製品情報

エアアクチュエータAirsonic®

■ 直動と回転機構を一体化、コンパクト
■ 位置制御と荷重制御のシームレスな切り替えによる生産性向上
■ 繊細な押し当て制御

開発者からのメッセージ

開発の背景

より精密で高速な位置決めと荷重の制御を求めて

ますます小型・軽量化・省電力化の進む電子機器において、搭載される部品にも同様に小型・省電力化等の要求が増えています。また、半導体などの電子部品においては、その要求に応えるための技術が求められています。半導体チップ等においては微細化が進み、一方で大容量化に向けた積層化技術が必要になってきており、さらに高精度で高速化な生産手段が必要です。当社は求められる生産手段の実現に向け、長年、独自開発をしてきたエアサーボ技術を活用。高精度は位置決め技術と圧力（荷重）制御を融合して、1軸で位置と荷重を同時に精密でかつ高速に制御できるアクチュエータAirsonicを開発しました。

導入効果　競争力の高い生産体制を実現

より高い生産性を実現します

従来の製造装置における技術は、サーボモータ・リニアモータ等の駆動装置とばね機構・高精度シリンダ等の複合機構で構成され、機構部が大きく複雑な構成となっていました。また、それに伴い定期的なメンテナンス作業が必要とされてきました。 Airsonicは、非接触駆動の1軸のアクチュエータとそれをコントロールする制御装置でよりシンプルにシステム構成を実現しています。軽量コンパクトで、かつエア駆動であることから、エネルギー消費量の削減クリーンな環境を維持でき省エネ・メンテナンス時間の削減を実現できます。また、位置と荷重の切り替えタイミングを独自アルゴリズムで高速・高精度で切り替えられることができ生産時間の短縮を実現し、より高い生産性に貢献します。

広がる可能性様々な自動化・高精度化に対応します

半導体製造に限らず、精密な張力制御、従来、人が行っている切断・接合・研磨・ラッピング・スタンピングなど繊細な作業の自動化に貢献できるアクチュエータです。お客様の生産スタイルにあった革新的な技術を提案してまいります。

コンパクト化・軽量化・高精度
・高信頼性・サステナビリティヘの要求

少子高齢化、そしてwithコロナ、afterコロナの社会では様々な自動化、無人化を高い信頼性で実現することが求められています。同時に環境性やサステナビリティヘの貢献も大きな課題です。弊社は変わりゆく社会を支える基礎的な技術として、クリーン省エネルギーで高精度・高速なエア駆動＆制御アルゴリズムを提案します。

Airsonicの先進性

位置制御・荷重制御を1軸で実現

従来のアクチュエータは、位置制御系アクチュエータと荷重制御のアクチュエータを複雑な機構及び制御構成で結び付けていました。このエアアクチュエータは1軸で2つの制御を実現します。

制御性能の高精度化

独自開発した制御アルゴリズムとエアベアリング採用により、エア駆動による高速・高精度位置決め、高精度荷重コントロールを実現します。

コントロールは、サーボモータ感覚

専用コントロールドライバにより、サーボモータ感覚でコントロールが可能です。
軽量・コンパクト

シンプルな構造で、軽量・コンパクト化。搭載装置の性能向上に寄与します。

クリーン性・メンテナンス性良好

エア駆動を採用することで発塵なくクリーンで発熱もありません。また、工アベアリングを採用することで、グリース塗布なども削除できメンテナンス性においても格段に向上します。

■ 位置制御性能（ステップ応答）

ストローク20mmの中7~13mm範囲でステップ指令に対する応答を示したもの。ストローク 20mm全域で同等の結果を得られます。
■ 荷重制御性能

荷重範囲0.1N~50Nで、ばらつきが小さく直線性の高い性能を提供します。
■ 位置・荷重制御動作例

位置制御から荷重制御への切替え判定はドライバ内部で高速に処理しており、オーバーシュートのない高応答な荷重制御を実現します。