FPD/PV 検査・リペア用ステージ

ガントリ移動型リニアガイドステージ GL Series

1. ステージ概要

主に液晶ガラス基板の検査・修正装置に用いられる精密位置決め装置（XYステージ）。ステージ概要とオプションの紹介。
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2. ステージ動作

ステージの駆動部であるガントリやスライダの動作紹介。1m/s以上の高速駆動を実現します。
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3. ラインナップと岡山工場での組立

4世代～第10世代までのステージの主要仕様と、当社岡山工場での組み立て風景の紹介。
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