高精度レーザ加工・インクジェット用XYステージ

LA Series

石定盤とエアガイドの採用により高い平面度及び真直度を実現
独自のテーブル構造により安定した加工が可能



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仕 様(LA3800)

項目下軸(X軸)上軸(Y軸)
基板サイズ G8
ストローク 3800mm 280mm
最高速度 350mm/s 200mm/s
駆動系 リニアモータ リニアモータ
ガイド エアガイド 転がりガイド
フットプリント 7700×4200mm
重量 32000kg

テーブル(吸着盤)支持構造

トップテーブルを支持するエアガイド、下軸・上軸スライダのエアガイドを共に石定盤上に配置します。 これにより、石定盤の面積を最小限にすると共に、トップテーブルが大型化しても安定した駆動を可能です。

保有登録特許

日本
2970802、3194246、4209983、4322762、4327672、4291313、4402078
韓国
852876、919391
中国
ZL200580013948.X、ZL200580018883.8、ZL200710110052.4

その他特許出願中



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