リニアモータ

SM/SL/SSL

独自開発のI型コイル形式でサイドフォースの発生を抑制するとともに、磁気回路やコイル配置の設計最適化と精度の高い組み立てによって推力リップルを最小化したリニアモータです。
高精度なスキャン動作を可能にします。

特長

高精度なスキャン動作を可能にするリニアモータ

  • 半導体製造分野の精密ステージ
  • FPD製造分野の精密ステージ

仕様

項目SM-2SM-3SM-4SM-6
定格推力 76N 112N 148N 219N
最大推力 228N 336N 444N 657N
定格電流 1.22Arms 1.19Arms 2.37Arms 2.33Arms
最大電流 3.65Arms 3.58Arms 7.10Arms 7.00Arms
可動子長(L1) 145mm 206mm 267mm 389mm
固定子長(L2) 183mm(SMY-3)、244mm(SMY-4)
幅(W) 36mm
高さ(H) 87.5mm
項目SL-4SL-6SL-8SL-10
定格推力 320N 456N 600N 783N
最大推力 960N 1,368N 1800N 2,349N
定格電流 4.06Arms 3.86Arms 5.07Arms 5.29Arms
最大電流 12.19Arms 11.58Arms 15.21Arms 16.00Arms
可動子長(L1) 315mm 459mm 603mm 747mm
固定子長(L2) 216mm(SLY-3)、288mm(SLY-4)
幅(W) 54.8mm
高さ(H) 121.4mm
項目SSL-4SSL-6SL-8SSSL-10
定格推力 614N 910N 1204N 1500N
最大推力 1842N 2730N 3612N 4500N
定格電流 5.33Arms 7.91Arms 10.46Arms 13.03Arms
最大電流 16.00Arms 23.72Arms 31.38Arms 39.00Arms
可動子長(L1) 434mm 633.2mm 832.4mm 1031.6mm
固定子長(L2) 298.8mm(SSLY-3)、398.4mm(SSLY-4)
幅(W) 59.4mm
高さ(H) 166mm


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