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- レーザアニーリング装置
- エキシマレーザ・固体レーザを用い、基板上のa-Si膜を結晶化させる装置
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- 太陽電池評価装置 OPTEL
- 太陽電池材料の電気的特性測定、太陽電池素子・デ バイスの光学特性測定装置
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- フィルム塗工用制御システム C Package
- 高機能フィルムなどのロール・ツー・ロール塗工機の制御システム
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- サーボドライバ
- コントローラからの指令によりアクチュエータを駆動制御する機器
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- 有機材料評価装置
OPTEL - 有機EL・有機半導体を中心とした光・電気の測定を行う装置
- 有機材料評価装置
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- 精密位置決め装置 XYステージ
- 塗布装置や検査装置用に基板を高精度に位置決めする装置
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- モーションコントローラ
- パルス信号の出力により各種産業機械のモータドライバを制御する機器
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- リニアモータ
- ダイレクトドライブ駆動するリニアアクチュエータ
