半導体 検査・露光装置用ステージ

小型サーフェスステージ SA&SL Series

1. ステージ紹介

主に半導体ウエハの検査・露光装置に用いられる精密位置決め装置(XYステージ)。ステージ概要を3Dアニメーションで紹介。
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2. ステージ動作

ステージの駆動部の動作紹介。1m/s、1Gの高速駆動を実現します。
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