真空エアサーボステージ

CA-230

■ 高精度エアサーボ駆動
  • 発熱フリー・非磁性・非接触駆動
  • 真空チャンバ内直接駆動による高運動性能

■ 差動排気付きエアベアリングによる案内機構
  • 非接触による優れた案内精度と再現性
  • グリースフリーと低発塵
  • 高真空度に対応

仕 様

項目仕様
ストローク X:230mm, Y:230mm
制御軸 X軸, Y軸, ヨーイング(θz)
ステージサイズ 980mmx810mmx220mm
駆動システム エアサーボ
ガイド機構 エアベアリング
位置フィードバック レーザ測長計
最大速度 100 mm/sec
最大加􏰀速度 0.1 G
最大ジャーク 1.0 G/sec
位置決め精度 ±50nm
􏰀速度安定性 0.5% 以下 ( @10 mm/sec )
ヨーイング 5 μ rad以下
ピッチング 10 μ rad 以下
ローリング 10 μ rad 以下
可搬重量 20 kg
真空リーク量 3.0 × 10^-4 Pa・m^3 /sec 以下


カタログダウンロード

お問い合わせ メカトロニクス事業部 営業部 モーションコンポーネントG