モーションコントローラー

MC78

MC78は、高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラです。
サーボドライバSDシリーズや位置計測信号処理ユニットPP78などと組み合わせることで、フルデジタルインターフェースによる多軸完全同期制御システムを実現します。


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PP78

PP78は、独自のハードウェア処理により、ステージ位置に同期した高精度なタイミングパルスを出力する位置計測信号処理ユニットです。 インターポレータ機能やピッチ誤差補正機能、アライメント誤差補正機能、環境補正機能(レーザ干渉計使用時)など、超精密スキャンに欠かせない機能を装備しています。


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サーボドライバ

SDLN/SDPH

SDLNシリーズは、ナノメートルクラスの高精度リニア動作と大出力PWM動作の自動切り替えを可能とした超高性能サーボドライバで、超精密分野用に開発されたリニアアンプを搭載しています。
SDPHシリーズは、中・大出力向けに開発されたPWM動作タイプの高性能サーボドライバです。 高速スイッチング素子と高精度な電流フィードバック回路の内蔵により高い速度安定性を誇り、短時間での位置決め用途などに威力を発揮します。


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リニアモータ

SM/SL/SSL

独自開発のI型コイル形式でサイドフォースの発生を抑制するとともに、磁気回路やコイル配置の設計最適化と精度の高い組み立てによって推力リップルを最小化したリニアモータです。 高精度なスキャン動作を可能にします。


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エアアクチュエータ

Airsonic 25N/50N

独自開発した制御アルゴリズムとエアベアリング採用により、エア駆動による高速・高精度位置決め、高精度荷重コントロールを実現します。
エア駆動を採用することで、発塵なくクリーンで発熱もありません。また、エアベアリングを採用することで、グリース塗付なども削除でき、メンテナンス性のいても格段に向上します。


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