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半導体・プリント基板

検査・加工装置用XYステージ TL Series

検査・加工装置用XYステージ TL Series

高精度、高スループットのステージを低価格で提供
リニアモータ駆動ステージによる高スループットを実現
独自の反力処理機構による高精度位置決めを実現

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TL-400仕様

項目 下軸 上軸
有効ストローク 400mm 350mm
最高速度 1000mm/s 1000mm/s
ガイド 転がりガイド 転がりガイド
駆動方式 リニアモータ リニアモータ
フットプリント 800x800mm
高さ 800mm(架台含む)
重量 300kg以下

※1 モータやオプション選定によります
その他詳細については、カタログをご覧いただくか、直接弊社までお問い合わせください。

保有登録特許

日本:2970802、3194246
その他特許出願中

お問い合わせ

住友重機械メカトロニクス株式会社 第一営業部 ステージシステム営業G

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