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精密位置決め装置 XYステージ

検査・加工装置用XYステージ
TL Series

検査・加工装置用XYステージ

ウエハ・基板の高速位置決めを実現
装置の振動を最小限に低減
Z機構、θ機構のオプション

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露光・高精度検査装置用XYステージ
SA/SL Series

検査・加工装置用XYステージ

ウエハの高速スキャン動作に最適
装置の振動を最小限に低減
Z機構、θ機構のオプション

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住友重機械メカトロニクス株式会社 第一営業部 ステージシステム営業G