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- レーザアニーリング装置
- エキシマレーザ・固体レーザを用い、ウェハをアニールする装置
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- 精密位置決め装置 XYステージ
- 露光装置や検査装置用にウェハを高精度に位置決めする装置
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- サーボドライバ
- コントローラからの指令によりアクチュエータを駆動制御する機器
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- エアアクチュエータ
- エアを駆動源として、位置制御と荷重制御が可能なアクチュエータ
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- モールディング装置
- 半導体チップをエポキシ樹脂等により固めて成形する装置
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- モーションコントローラ
- パルス信号の出力により各種産業機械のモータドライバを制御する機器
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- リニアモータ
- ダイレクトドライブ駆動するリニアアクチュエータ
