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液晶/太陽電池/有機EL

高精度レーザ加工・インクジェット用XYステージ LA Series

高精度レーザ加工・インクジェット用XYステージ LA Series

石定盤とエアガイドの採用により高い平面度及び真直度を実現
独自のテーブル構造により安定した加工が可能

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LA3800仕様

項目 下軸(X軸) 上軸(Y軸)
基板サイズ G8
ストローク 3800mm 280mm
最高速度 350mm/s 200mm/s
駆動系 リニアモータ リニアモータ
ガイド エアガイド 転がりガイド
フットプリント 7700×4200mm
重量 32000kg

上記記載のModel以外にも各種取り揃えております。
その他詳細については、カタログをご覧いただくか、直接弊社までお問い合わせください。

テーブル(吸着盤)支持構造

トップテーブルを支持するエアガイド、下軸・上軸スライダのエアガイドを共に石定盤上に配置します。これにより、石定盤の面積を最小限にすると共に、トップテーブルが大型化しても安定した駆動を可能です。

保有登録特許

日本:2970802、3194246、4209983、4322762、4327672、4291313、4402078
韓国:852876、919391
中国:ZL200580013948.X、ZL200580018883.8、ZL200710110052.4
その他特許出願中

お問い合わせ

住友重機械メカトロニクス株式会社 第一営業部 ステージシステム営業G

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